ME-0806D臺(tái)式主動(dòng)減震系統(tǒng)MEIRITZ明立精機(jī)

ME-0806D臺(tái)式主動(dòng)減震系統(tǒng)MEIRITZ明立精機(jī)

臺(tái)式主動(dòng)減震系統(tǒng)

ME-1007D,ME-0806D

石定盤(pán)空氣彈簧式減振裝置

AG-1007,AG-1209,AG-1510,AG-1809,AG-2010,AG-2412

臺(tái)式主動(dòng)減震系統(tǒng)概要：

在長(zhǎng)期的歷史和交付業(yè)績(jī)中培養(yǎng)起來(lái)的減震技術(shù)開(kāi)發(fā)的ME40系列更新為ME系列。將6自由度主動(dòng)減震機(jī)構(gòu)集約在緊湊的機(jī)體內(nèi)，提供傳統(tǒng)被動(dòng)型無(wú)法實(shí)現(xiàn)的振動(dòng)環(huán)境。在近年來(lái)進(jìn)步顯著的納米技術(shù)領(lǐng)域，特別要求高精度、高分辨率的精密儀器性能得到最佳發(fā)揮，是最佳合作伙伴。

特點(diǎn)：

6自由度主動(dòng)控制。搭載盤(pán)及安裝面的振動(dòng)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，并通過(guò)內(nèi)置的執(zhí)行器施加反相力進(jìn)行振動(dòng)控制。以三維（6自由度）進(jìn)行控制。

自動(dòng)主動(dòng)調(diào)整＆自動(dòng)調(diào)平。活性控制所需的增益調(diào)整通過(guò)明立精機(jī)的原創(chuàng)控制系統(tǒng)自動(dòng)優(yōu)化。

輕量搭載物也有可能。通過(guò)檢查裝置結(jié)構(gòu)，現(xiàn)在即使是像小型SPM這樣的輕量載荷也能使用。

僅靠電源運(yùn)行。使用所需的工具是電源。不需要壓縮機(jī)等空氣源。不受安裝位置和使用環(huán)境的限制。

掃描探針顯微鏡（SPM）、共聚焦激光顯微鏡、干涉計(jì)系統(tǒng)、三維形狀測(cè)量?jī)x、激光位移計(jì)系統(tǒng)、及其他精密測(cè)量和精密加工設(shè)備。