SHINKU真空光學(xué)裝配用多軸機(jī)械臂VM-150
SHINKU真空光學(xué)裝配用多軸機(jī)械臂VM-150
SHINKU真空光學(xué)裝配用多軸機(jī)械臂VM-150
多軸機(jī)械臂VM-150
介紹：
本產(chǎn)品是通過(guò)超高真空中的冷凍機(jī)、高真空中的冷凍機(jī)等的移動(dòng)及測(cè)定等實(shí)驗(yàn)，設(shè)計(jì)成能夠正確且再現(xiàn)性地操作大氣中的上下移動(dòng)或X.Y的平行移動(dòng)，并進(jìn)行精密的制作、組裝，以達(dá)到功能的優(yōu)秀和精度本公司的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于各方面。
規(guī)格：
XY平行移動(dòng)：移動(dòng)±10mm
移動(dòng)密度10μ以下
Z方向移動(dòng)：移動(dòng)130mm
移動(dòng)密度50μ以下
安裝法蘭：上部??ICF70FT
下部…ICF152 FH
焊接貝羅：外徑60mm內(nèi)徑40mm
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
簡(jiǎn)易型機(jī)械臂KMV-70 ST100
本產(chǎn)品通過(guò)超高真空中樣品等的移動(dòng)及測(cè)定等實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)，可在大氣中進(jìn)行上下移動(dòng)或X.Y的平行移動(dòng)，本產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于各方面。
規(guī)格
X.Y平行移動(dòng)：移動(dòng)±5mm
Z軸移動(dòng)量：100m/m
安裝法蘭：上部法蘭ICF70FT
下部法蘭ICF70FH
焊接貝羅：使用內(nèi)徑40mm
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
冷凍機(jī)用機(jī)械臂CLM-70/70
本產(chǎn)品是通過(guò)超高真空中的冷凍機(jī)、高真空中的冷凍機(jī)等的移動(dòng)及測(cè)定等實(shí)驗(yàn)，設(shè)計(jì)成能夠正確且再現(xiàn)性地操作大氣中的上下移動(dòng)或X.Y的平行移動(dòng)，并進(jìn)行精密的制作、組裝，以達(dá)到功能的優(yōu)秀和精度本公司的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于各方面。也制作XY軸、Z軸的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)。
規(guī)格
X.Y平行移動(dòng)：移動(dòng)±6.5mm（手動(dòng)）、移動(dòng)精度10μm以下
Z方向移動(dòng)：100～200m/m（手動(dòng)）、移動(dòng)精度50μm以下
安裝法蘭：基座法蘭ICF70FH、移動(dòng)法蘭ICF70FT
焊接貝羅：外徑φ60mm內(nèi)徑φ使用40mm
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
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